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自動光學(xué)檢測設(shè)備


自動光學(xué)檢測設(shè)備的扁平化設(shè)計應(yīng)用

省空間、提高效率




自動光學(xué)檢測設(shè)備:壓縮設(shè)備高度,提升空間利用率
設(shè)備:自動光學(xué)檢測設(shè)備(AOI)

工位:晶圓旋轉(zhuǎn)工位

解決方案:薄型·中空旋轉(zhuǎn)式傳動裝置DG2系列
●薄型·扁平化、節(jié)省高度
●絕對式系統(tǒng)
●簡易循環(huán)坐標(biāo)

痛點:提升設(shè)備空間利用率,設(shè)計多層、多腔室集群設(shè)備是半導(dǎo)體設(shè)備的開發(fā)趨勢。故此,壓縮每個腔體中的結(jié)構(gòu)高度成為重中之重的新課題。

新品上市! 薄型·中空旋轉(zhuǎn)式傳動裝置

NEW!電動機(jī)水平方向(薄型)

● 薄型,扁平化
● 大口徑中空設(shè)計
● 搭載機(jī)械式絕對編碼器
● 無齒隙高精度定位


薄型·中空旋轉(zhuǎn)式傳動裝置DGⅡ系列


薄型·中空的旋轉(zhuǎn)平臺,創(chuàng)設(shè)結(jié)構(gòu)設(shè)計新高度
全新薄型設(shè)計·有效壓縮高度設(shè)計

備有多種組裝類型的中空旋轉(zhuǎn)式工作臺,
全新推出在高度上可大幅壓縮設(shè)備縱向空間的薄型中空旋轉(zhuǎn)平臺,
實現(xiàn)設(shè)備扁平化。






大口徑中空設(shè)計·巧妙利用省空間
直接將負(fù)載安裝在旋轉(zhuǎn)平臺上,不僅省去傳動機(jī)構(gòu),方便安裝,更能通過中空設(shè)計實現(xiàn)由下而上的配線?配管。
大口徑中空孔(貫穿)用于布置復(fù)雜的配線、氣動(吸盤)及液壓配管等場合,節(jié)省配件設(shè)置空間。




絕對式系統(tǒng)·簡易循環(huán)坐標(biāo),應(yīng)用控制更靈活
機(jī)械式絕對編碼器·實現(xiàn)絕對坐標(biāo)位置管理
絕對式系統(tǒng)位置管理,支持重新上電后的絕對坐標(biāo)記憶,無需電池、傳感器等配件,支持軟極限設(shè)置、內(nèi)藏定位程序運(yùn)行等。


循環(huán)功能·旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)單圈循環(huán)坐標(biāo)達(dá)成
循環(huán)功能是在電動機(jī)輸出軸的轉(zhuǎn)數(shù)超出設(shè)定的范圍時,自動預(yù)置當(dāng)前位置的位置信息的功能。
例:電動機(jī)向同一方向每旋轉(zhuǎn)
1rev,循環(huán)功能有效時。

應(yīng)用例:
多圈旋轉(zhuǎn)時的晶圓旋轉(zhuǎn)工位,電動機(jī)輸出軸每旋轉(zhuǎn)1rev,循環(huán)坐標(biāo)時,坐標(biāo)將自動清零。

有助于:
①簡易、準(zhǔn)確的確認(rèn)晶圓當(dāng)前位置信息;
②避免坐標(biāo)溢出時的坐標(biāo)數(shù)據(jù)處理難題;
③高效的高速原點返回。



結(jié)構(gòu)·電控強(qiáng)大陣容,設(shè)備更小型·簡潔緊湊
高剛性XY軸移栽對位·電動滑臺EZS系列
搭載高效節(jié)能的αSTEP AZ系列電動機(jī)。 采用簡易防塵構(gòu)造,可阻止異物進(jìn)入,抑制發(fā)塵,更備有無塵室對應(yīng)品。
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優(yōu)化電控柜空間·mini、薄型多軸驅(qū)動器
備有支持全球主要工業(yè)用的網(wǎng)絡(luò)產(chǎn)品,擁有薄型的多軸驅(qū)動器,亦有十分小型輕量的mini驅(qū)動器。
?點此查看AZ系列mini驅(qū)動器詳細(xì)介紹 / ?點此查看AZ系列多軸驅(qū)動器詳細(xì)介紹



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中空旋轉(zhuǎn)式工作臺和步進(jìn)電動機(jī)的一體化產(chǎn)品DGⅡ系列(搭載無需電池的絕對式編碼器AZ系列)。

注意:DGⅡ系列 電動機(jī)水平方向(薄型)產(chǎn)品詳情請洽詢客戶咨詢中心,

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