全自動探針臺設備
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全自動探針臺設備的高效率檢測應用 |
提高精度、高響應、提高效率
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全自動探針臺設備：高精度的升降晶圓臺
設備：全自動探針臺工位：晶圓臺升降工位 解決方案：5相高分辨率型步進電動機 ●高精度 ●高響應 ●全閉環(huán)控制系統(tǒng) |
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5相高分辨率型步進電動機 |
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高精度的高分辨率型產(chǎn)品，產(chǎn)能效益更優(yōu)越
■高分辨率型，停止精度大為提高。◇分辨率提高（相比標準型）
轉子的齒數(shù)由標準型的50個增加到2倍的100個，基本步距角為標準型的一半0.36°。
◇結構上更小的步距實現(xiàn)停止精度更高
與標準型相比，齒輪更密，齒數(shù)更多。分散發(fā)生轉矩的偏差，減小靜止角度誤差。可避免晶圓針印、探針破損的可能，優(yōu)化檢測品質。
5相·標準型：±3分（±0.05°）
5相·高分辨率型：±2分（±0.034°）
◇ 角度-轉矩特性比較（參考）
相比標準型，在電動機施加相同的摩擦負載，高分辨率型的變位角 θd 更小。在始終用于施加摩擦負載用途時，停止精度更高。 因此，平臺機構的精度因受皮帶、螺桿導軌/導塊等而產(chǎn)生摩擦轉矩所導致的精度影響會更小。
如皮帶、滾珠螺桿機構，在動作時，機構始終會對電動機施加因皮帶張緊力、導塊或導軌等而產(chǎn)生的摩擦負載。
● 空程※1實測數(shù)據(jù)
優(yōu)化檢測良率，助力檢測效率提升
■綜合性能，（免增益、無微振、高指令跟隨）更強大的穩(wěn)定運行◇ 免增益、無微振的高響應動作
步進電動機是開環(huán)控制的同步電動機，有其特有的高響應性。對機構的剛性無要求，無需進行增益調整。定位結束時無微振且可以通過電動機自身保持力停止。 適用于需要無振動停止的設備用途。實現(xiàn)晶圓臺對運動指令的高響應動作，避免過沖現(xiàn)象，減少晶圓/探針破損、針印等發(fā)生，提高檢測良率。 |
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◇ 微米級別的高指令跟隨
高分辨率型產(chǎn)品在高摩擦負載的環(huán)境下可切實追隨每一個脈沖的指令。 可為搭配光柵尺等外部傳感器實現(xiàn)全閉環(huán)控制系統(tǒng)的高精密平臺，提供精密定位調整的指令跟隨應用。 |
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升級全閉環(huán)控制，構建更高精度的系統(tǒng)
CVD系列全新推出全閉環(huán)控制型產(chǎn)品，保持了步進電動機的易用性, 通過與外部傳感器的組合實現(xiàn)高精度定位運行。構建需要更高精度控制的設備及裝置設計。● 空程※1實測數(shù)據(jù)
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【測定條件】 螺桿導程1ｍｍ 直線光柵尺分辨率0.1μm 位置范圍：1cnt ※2 采用激光測長測量
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※1 電動機從CW或CCW方向對目標位置進行定位，此時的停止位置相對于旋轉方向的差。
※2 以編碼器脈沖計數(shù)1的誤差(-0.2～0.2μm)為目標進行修正。
全閉環(huán)控制型在開始定位時，利用步進電動機的高響應進行開環(huán)控制。
從位置指令結束開始，結合外部傳感器的反饋，可通過全閉環(huán)控制進行位置修正。
在保證高響應性的同時，也進一步提升了裝置的定位精度。
※2 以編碼器脈沖計數(shù)1的誤差(-0.2～0.2μm)為目標進行修正。
全閉環(huán)控制型在開始定位時，利用步進電動機的高響應進行開環(huán)控制。
從位置指令結束開始，結合外部傳感器的反饋，可通過全閉環(huán)控制進行位置修正。
在保證高響應性的同時，也進一步提升了裝置的定位精度。
相關產(chǎn)品
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CVD系列全新推出全閉環(huán)控制型產(chǎn)品。 保持了步進電動機的易用性, 通過與外部傳感器的組合實現(xiàn)高精度定位運行。 有助于構建需要更高精度控制的設備及裝置設計。
高轉矩低振動的2相。高精度低振動的5相。 備有豐富的產(chǎn)品陣容。
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低振動設計的驅動器搭載微步驅動功能，實現(xiàn)更低振動。 提供可根據(jù)安裝方式、電纜線出線方向選擇的3種驅動器 。
高轉矩低振動的2相。高精度低振動的5相。 備有豐富的產(chǎn)品陣容。
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注意：
本資料僅供參考。選購前請仔細確認設備需求和產(chǎn)品規(guī)格。
如需幫助，請洽詢本公司客戶咨詢中心（電話：400-820-6516）。
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